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射频等离子体发生器
    发布时间: 2025-11-14 14:42    
射频等离子体发生器
系列输出频率
(MHz)		输入电压
(VAC)		功率等级
(kW)		通信接口高级功能尺寸
(mm)
Apex
RF Generator		13.562081.5~10RS-232
Analog
Ethernet
DeviceNet		Pulsing
CEX		426x216x133
601x483x133
Paramount
RF Generator		2~60208
400
480		3~15RS-232
EtherCAT
Ethernet
DeviceNet		Pulsing
CEX
  arc management
MBFT		442x216x133
644x483x133
Paramount Plus
RF Generator		1~602085~15RS-232
25-pin analog
Ethernet
DeviceNet
Profibus
EtherCAT		Pulsing
CEX
arc management
MBFT		Full   rack 3U
Full rack 4U
eVerest
RF Generator		1~65200
240
400
480		3~10RS-232
EtherCAT
Ethernet
DeviceNet		Multi-level Pulsing
    CEX
arc management
MBFT		Half   rack 3U
Full rack 3U