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功率输出系统
    发布时间: 2025-11-14 15:07    
功率输出系统
系列输出频率
(MHz)		输入电压
(VAC)		功率等级
(kW)		通信接口高级功能尺寸
(mm)
RF Delivery System eVerest and NavX1~60208
400
480		3.5~10RS-232
EtherCAT
Ethernet		Multi-level Pulsing
arc management
CEX, MBFT		Half rack 3U
Full rack 3U
eVoS LE400kHz185-2601AEtherCAT
Ethernet		输出电压 2250V
峰值电流 1.4A
脉冲范围 1~5000Hz		Chamber Mount
Full Rack
eVoS ME0.2~1.1400
480		6ARS-232
micro-USB
Ethernet		输出电压 5000V
Vstep 500~3000V
峰值电流 6A
脉冲范围 10~5000Hz		19“ Rack 8U